技术突破:皮秒超快激光加工
采用皮秒(10⁻¹²秒)级超短脉冲紫外激光,能量在极短时间内作用于材料,实现真正的"冷加工",热影响区比纳秒激光小100倍以上,突破传统加工极限。
核心技术优势
皮秒超快脉冲
脉冲宽度仅皮秒级(10⁻¹²秒),能量作用时间极短,材料吸收能量后瞬间气化,几乎不产生热传导。
近乎零热影响
热影响区(HAZ)小于1μm,比纳秒激光小100倍以上,真正实现冷加工,无熔渣、微裂纹或热变形。
高质量边缘加工
加工边缘光滑整洁,无毛刺、无碳化,无需二次处理,特别适合脆性材料和薄膜加工。
突破材料限制
可加工传统方法难以处理的高硬度、高脆性、高反射率材料(如金刚石、蓝宝石、铜、金等)。
高端应用领域
面向超精细加工、高附加值产品的前沿领域:
典型应用案例
皮秒紫外激光在多个行业的成功应用:
PVD油墨去除
电子/显示行业选择性去除PVD涂层上的油墨层,不损伤底层薄膜,实现高精度图案化。
隐形二维码打码
防伪/追溯行业在材料表面或内部制作肉眼不可见的微米级二维码,用于产品追溯和防伪。
玻璃内雕二维码
高端消费品在玻璃内部雕刻三维二维码,表面光滑无触感,美观且防篡改。
晶圆标记
半导体行业在晶圆表面进行清晰、持久的芯片ID标记,无微裂纹,不影响器件性能。
光伏电池表面刻蚀
新能源行业在太阳能电池表面进行选择性刻蚀,去除钝化层而不损伤PN结。
锂电池极片切割
新能源/电池行业极片精密切割,无毛刺、无熔渣,避免电池短路风险。
陶瓷标记与钻孔
电子/医疗行业在氧化铝、氮化铝陶瓷上进行高精度标记和微孔加工,无崩边裂纹。
晶圆划线
半导体制造晶圆隐形切割,在芯片内部形成分离线,减少切割应力,提高良率。
技术参数
| 参数项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 激光类型 | 皮秒紫外固体激光器 |
| 激光波长 | 355nm(紫外) |
| 脉冲宽度 | <10ps(皮秒级) |
| 最大单脉冲能量 | ≥8-50μJ |
| 重复频率 | 单脉冲400~2000KHz可调 |
| 打标精度 | 亚微米级,可达±0.5μm |
| 热影响区 | <1μm(近乎零热影响) |
| 光束质量 | M²<1.3(近衍射极限) |
| 核心特点 | 超短脉冲、近乎零热影响、超高精度、材料普适性极强 |
高端配置选项
皮秒 vs. 纳秒激光关键区别
- 热影响区:皮秒激光<1μm,纳秒激光通常50-100μm
- 加工机理:皮秒为"冷烧蚀",纳秒为"热烧蚀"
- 加工质量:皮秒无熔渣、微裂纹,纳秒可能有热影响痕迹
- 材料范围:皮秒可加工高反、高热导材料,纳秒受限
- 加工精度:皮秒可达亚微米级,纳秒通常微米级
设备定位与价值
皮秒紫外激光打标机代表了当前超精细激光加工的顶尖技术水平,主要面向纳秒激光无法解决的高端加工需求。
其核心价值在于突破传统加工的物理极限,实现近乎零热影响的超精细加工,为医疗植入、半导体、新能源、高端显示等前沿领域提供不可替代的解决方案,显著提升产品性能和附加值。








